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微量金属除去(電子市場向けフィルター)

電子用途で使用されるファイン化学製品は、Na、Feをはじめとする微量な金属の除去が不可欠です。
それらをろ材自体に吸着効果を持たせることによりppbレベルに下げることができました。
さらに中空糸で構成された0.001ミクロン精度のフィルターは粒子形状の金属を確実に捕獲することが可能です。

製品一覧

ゼータプラス™フィルターカートリッジ EC

吸着効果を持ったフィルターで、Na専用グレード、その他の金属除去グレードなどをご用意しています。簡単なテストで効果を確認していただけます。フォトレジスト、レジスト原料、その他で数多くの実績があります。

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ナノシールド™フィルターカートリッジ/カプセルフィルター

中空糸0.01ミクロン、0.02ミクロン精度のフィルター。超純水などで洗浄済み。また標準グレードは0.1ミクロンから。

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