３Ｍ｜高濃度ダスト処理（電子市場向けフィルター）｜電子・工業市場向けフィルター｜CUNO™ 液体用フィルター製品｜キュノ製品事業部

長年の課題となっているウエハー関連のダイシング後の粒子、さらに基盤製造工程での現像液およびリンス液中の大量の有機物などの高濃度ダスト、さらにセラミックコンデンサーのカットで排出される高濃度ダスト処理に適切なフィルターをご紹介させていただきます。

製品一覧

700シリｰズは、1つのカートリッジで粒子にもよりますが約10ｋｇの粒子を捕集できる能力を持っています。700シリｰズが持つ画期的な構造がもたらした効果です。またこの製品は、プリーツ型のフィルターにも匹敵するろ過精度を備えており、高いレベルでの微細な粒子の捕集が可能です。

デュオフロー™フィルターシステムは、通常のバグフィルターの1.6倍以上のろ過面積を持っています。また構造上全ろ過面積を有効に利用することが可能であり、比重の大きい粒子には「バグ」という常識を一変させる製品です。

ゼータプラス™フィルターカートリッジは、デプスフィルターでありながら、0.2μ大の粒子の捕集が可能です。ろ材は4mmの厚さを持っており、密度勾配構造を持っています。そのためこうした用途では、原価低減を目指される場合には推奨できるフィルターです。