耐薬品性にすぐれた、高純度薬品用フィルター
CUNO™マイクロフロー™ FAグレード フィルターカートリッジ
【用途】フォトレジスト、フォトレジスト原料、酸・アルカリ洗浄薬液、精密機械洗浄液、、現像液、エッチング液、電子薬液、有機・無機化学薬液 等
特徴
- ●高純度の薬品(フォトレジスト、洗浄薬液、現像液など)のろ過に最適
- ●優れた耐薬品性
- ●優れた除粒子性能
- ●極めて低溶出
- ●互換性
- ●100%完全性試験を実施
仕様
| 材質 |
PTFE |
| ろ過精度 |
0.2μm |
| 接続 |
222 O-リング(フィン付)
ダブルオープンエンド |
| 最高使用温度 |
85℃ |
(pdfデータ:37KB)
対応ハウジング
※ZMNタイプの詳細については、「製品へのお問い合わせ」よりお問い合わせください。
このページの先頭に戻る▲全て熱溶着により組立て
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