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耐薬品性にすぐれた、高純度薬品用フィルター

CUNO™マイクロフロー™ FAグレード フィルターカートリッジ

【用途】フォトレジスト、フォトレジスト原料、酸・アルカリ洗浄薬液、精密機械洗浄液、、現像液、エッチング液、電子薬液、有機・無機化学薬液 等

特徴

  • ●高純度の薬品(フォトレジスト、洗浄薬液、現像液など)のろ過に最適
  • ●優れた耐薬品性
  • ●優れた除粒子性能
  • ●極めて低溶出
    • 全て熱溶着により組立て
  • ●互換性
    • 他社のハウジングに組込むことも可能
  • ●100%完全性試験を実施

仕様

材質 PTFE
ろ過精度 0.2μm
接続 222 O-リング(フィン付)
ダブルオープンエンド
最高使用温度 85℃

注文ガイドに遷移します。(pdfデータ:37KB)

対応ハウジング

※ZMNタイプの詳細については、「製品へのお問い合わせ」よりお問い合わせください。

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