フォトレジストや高純度化学薬品に
CUNO™ナノシールド™フィルターカートリッジ／カプセルフィルター
【用途】193nmフォトレジスト、ARC・BARC・TARC、エッチング液／剥離剤、ポリイミド、アルコール類、アルカリ類、現像液、各種溶媒
特徴
- ●フォトレジストや高純度薬品のろ過に最適
- ●中空糸膜テクノロジー
- ●ポリプロピレンとポリエチレンによる構成
- フォトレジストや高純度薬品に対して優れた耐液性
- IPAによる親水化処理や長時間のシステムフラッシングの必要なし
- ●0.01μm、0.02μmのろ過レンジ
- ●高流量
- ●多彩な形状をラインナップ
仕様
| 材質 |
ポリプロピレン中空糸膜 |
| ろ過精度 |
0.01μm、0.02μm、0.05μm、0.1μm |
| 形状 |
LHVチューブ
SDCカプセル
MDCカプセル
LDCカプセル
HFPカートリッジ |
| 最高使用温度 |
40℃ |
 （pdfデータ：41KB）
対応ハウジング
※ZMNタイプの詳細については、「製品へのお問い合わせ」よりお問い合わせください。
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