フォトレジストやその他ファインケミカルからのゲル・粒子除去用のカプセルフィルター
CUNO™フォトシールド™カプセルフィルター
【用途】各種フォトレジスト、アルコール、アルカリ溶液、現像液、エッチング液、剥離液、ソルベント
特徴
- ●フォトレジストやその他ファインケミカル用として開発されたメンブランフィルター
- ●優れたゲル状異物除去能力
- ●親水性ナイロン66メンブラン
- ●Advanced Pleat Technology™（APT™）構造
- ●アウトガスとマイクロバブルの発生を低減
- ●高流量・低圧力損失・ロングライフ
- ●低コスト
- ●低溶出カートリッジ
仕様
| 材質 |
ナイロン66 |
| ろ過精度 |
0.04μm、0.1μｍ、0.2μｍ |
| 接続 |
1.5"サニタリーヘルール1／4"オスNPT |
| 最高使用温度 |
50℃ |
 （pdfデータ：32KB）
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