フォトレジストやその他ファインケミカルからのゲル・粒子除去に
CUNO™フォトシールド™フィルターカートリッジ
【用途】各種フォトレジスト、アルコール、アルカリ溶液、現像液、エッチング液、剥離液、ソルベント
特徴
- ●フォトレジストやその他ファインケミカルのろ過にに最適
- ●親水性ナイロン66メンブラン
- ●Advanced Pleat Technology™（APT™）構造
- ●優れたゲル状異物除去能力
- ●アウトガスとマイクロバブルの発生を低減
- ●高流量・低圧力損失・ロングライフ
- ●低コスト
- ●低溶出カートリッジ
仕様
| 材質 |
ナイロン66 |
| ろ過精度 |
0.04μm、0.1μｍ、0.2μｍ |
| 接続 |
222 O-リング（フィン付）
222 O-リング |
| 最高使用温度 |
50℃ |
 （pdfデータ：27KB）
対応ハウジング
※ZMNタイプの詳細については、「製品へのお問い合わせ」よりお問い合わせください。
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