グローバルナビゲーションへスキップする メインコンテンツへスキップする

用途/ソリューション一覧

洗浄用途

優れた浸透性により水切り効果が高く、低温蒸気により素早く乾燥します。微細構造物のスティクションを防止します。

精密,レンズ,光学部品,MEMS
  • 半導体・液晶:2
  • 電気・電子:1
  • 洗浄:1
  • 乾燥:1
  • リチウムイオン電池:1
関連製品
特長
  • 素早く乾燥し、しみ(ウォーターマーク)の発生を抑えることが出来る。
  • 優れた浸透性(低表面張力・低粘度)により、微細構造間隙の水きりも可能。
  • 低温蒸気乾燥により、被洗浄物への熱的ダメージが少ない。(Novec™ 7100 沸点61℃)
用途例
  • CCD・CMOSセンサーパッケージ
  • カメラ等のレンズ部品
  • 精密部品の水切り、乾燥
  • MEMSなどの微細構造物

除塵洗浄

open/close

優れた浸透性によりパーティクル(塵埃)除去効果が高く、低温蒸気により素早く乾燥します。

精密,パーティクル,適合性,レンズ,イメージセンサー,クラック
  • 半導体・液晶:2
  • 電気・電子:1
  • 洗浄:1
  • 乾燥:1
  • リチウムイオン電池:1
関連製品
特長
  • パーティクルの除去性能に優れる。
  • 優れた浸透性(低表面張力・低粘度)により、微細な間隙の洗浄も可能
  • 優れた乾燥性により、シミを残すことがほとんど無い。
  • 一液で浸漬洗浄から蒸気洗浄まで対応可能。
  • 低温蒸気乾燥により、被洗浄物への熱的ダメージが少ない(Novec™ 7100 沸点61℃)。
  • 洗浄装置をコンパクトにでき、省設置スペースが可能
用途例

電子デバイスの除塵(パーティクル除去)

  • CCD、CMOSセンサー
  • 水晶部品
  • MEMS
  • 半導体ウェーハ
  • センサー部品 など

その他精密部品の除塵(パーティクル除去)

  • 光学部品
  • 半導体ウェーハ用ケース など

フッ素系汚れの除去性、浸透性に優れています。半導体製造工程においてフッ素系堆積物(デポジット)の除去に広く利用されています。

半導体製造装置,デポ,ドライエッチ,エッチャー,TSV,MEMS
  • 半導体・液晶:2
  • 洗浄:1
  • 乾燥:1
  • リチウムイオン電池:1
関連製品
特長
  • フッ素化合物の溶解性、膨潤性が高く、短時間でフッ素系堆積物の除去が可能。
  • 低表面張力。
  • 塵やホコリの除去性能に優れる。
  • 乾燥性に優れ、真空立ち上がりが良い。
  • 実用上無毒で安全性が高く、手拭洗浄にも使用可能。
用途例
  • 各種半導体製造装置のメンテナンス洗浄
  • 露光装置、ドライエッチング装置、スパッタリング装置、CVD装置、イオン注入装置、その他、フッ素系の汚れが付着する部品のメンテナンス、塵埃の除去など。
  • フッ素系堆積物(デポジット)の除去

Novec™ 高機能性液体を用いたすすぎ・蒸気乾燥を行います。
HCFC系溶剤、臭素系溶剤の代替としてご検討いただけます。

脱脂,HCFC代替
  • 電気・電子:1
  • 重電・エネルギー:2
  • その他工業:1
  • 化学・医薬品:3
  • 洗浄:1
  • 乾燥:1
  • リチウムイオン電池:1
関連製品
特長
  • Novec™ 高機能性液体は洗浄剤との相溶性に優れ、リンスでの油分残渣を残さない。
  • 優れた浸透性(低表面張力・低粘度)により、微細な間隙の洗浄も可能。
  • 優れた乾燥性により、シミを残すことがほとんど無い。
  • 低温蒸気乾燥により、被洗浄物への熱的ダメージが少ない。
    (Novec™ 7100 沸点61℃)
  • 洗浄ワーク材質との適合性に優れ、影響を与えない。
  • 引火点が無く、洗浄装置の不燃化が可能となる。
  • 洗浄装置をコンパクトにでき、省設置スペースが可能。
用途例
  • 精密部品の脱脂、乾燥
  • ハードディスクドライブサスペンション、アーム
  • エンジン部品等
  • 液晶セル、パネル洗浄
  • シリコーンオイル洗浄 など

Novec™ 高機能性液体を用いた共沸様混合物製品により脱脂洗浄を行います。
HCFC系溶剤、臭素系溶剤の代替としてご検討いただけます。

脱脂,HCFC代替
  • 半導体・液晶:2
  • 電気・電子:1
  • 重電・エネルギー:2
  • その他工業:1
  • 化学・医薬品:3
  • リチウムイオン電池:1
  • 洗浄:1
  • 乾燥:1
  • リチウムイオン電池:1
関連製品
特長
  • Novec™ 71DE, 72DE, 71DA 高機能性液体は溶解性に優れ、一液で切削油、加工油、グリース、フラックスの洗浄・リンス・乾燥が可能
  • 優れた浸透性(低表面張力・低粘度)により、微細な間隙の洗浄も可能
  • 優れた乾燥性により、シミを残すことがほとんど無い。
  • 低温蒸気乾燥により、被洗浄物への熱的ダメージが少ない。
  • 引火点が無く、洗浄装置の不燃化が可能となり、引火の危険を排除できる。
  • 洗浄装置をコンパクトにでき、省設置スペースが可能
用途例

一液で洗浄、リンス、乾燥を行うことができます。

  • 金属加工品、機械部品、自動車部品、航空機部品、切削加工品、ベアリング など

温度制御用途

電気絶縁性に優れ、メンテナンス性を向上します。超低温から高温まで、幅広い温度に対応します。

ブライン,エッチャー,テスター,プロ―バー,露光装置,冷却,温調
  • 半導体・液晶:1
  • 温度制御:1
  • 信頼性試験:2
  • 排熱回収:1
  • 消火薬剤:2
  • リチウムイオン電池:2
関連製品
特長
  • 優れた電気特性(絶縁性、体積抵抗値)により電子機器の信頼性が向上。
  • 超低温から高温まで幅広い温度範囲に適用可能。
  • 防錆材、防腐剤が不要でpH管理も不要。
  • メンテナンス性向上。
用途例

各種半導体製造装置の温度制御

露光装置、ドライエッチング装置、スパッタリング装置、CVD装置、イオン注入装置、ICテスター、プローバー、ハンドラー、バーンイン装置 など

マイナス100℃でも流動性に優れた不燃性液体を用いて、超低温領域での精密温度制御を行います。

極低温,超低温,冷凍,2次冷媒,2次冷却,熱媒体,温調,ブライン
  • 重電・エネルギー:1
  • その他工業:2
  • 化学・医薬品:1
  • 温度制御:1
  • 信頼性試験:2
  • 排熱回収:1
  • 消火薬剤:2
  • リチウムイオン電池:2
関連製品
特長
  • 液相で使用できる温度範囲が広い。
  • 動粘度が超低温において低く、-100℃の温調にも対応する。
  • 防錆剤、防腐剤が不要でpH管理も不要
  • メンテナンス性向上
用途例
  • 化学工業用冷却装置
  • 医薬品工業用冷却装置
  • 食品工業用冷却装置
  • フリーズドライ
  • 環境試験室 など

優れた電気絶縁性と熱特性により、コンパクトに電子機器などの温度制御を行います。

サーバー,沸騰冷却,熱媒体,温調
  • 電気・電子:5
  • 温度制御:1
  • 信頼性試験:2
  • 排熱回収:1
  • 消火薬剤:2
  • リチウムイオン電池:2
関連製品
特長

絶縁冷却用途におけるフロリナート™ フッ素系不活性液体の特長

  • 優れた電気絶縁性により電子素子同士を電気的に切り離す。
  • 優れた熱特性により、コンパクトに温度制御。
  • 熱的化学的に安定性が高く電食を起こさないため、信頼性が向上。
  • 幅広い温度範囲の冷却に適用可能。
用途例

直接浸漬型冷却

  • 車載、地上用整流器の冷却
  • 船舶用通信装置の冷却
  • 大型変圧器、電源の冷却
  • 電子装置の高熱、高電圧部の冷却 など

間接循環冷却

  • 各種半導体製造装置の温度管理
  • 大型コンピュータの素子冷却
  • 通信機器の冷却 など

優れた電気絶縁性と熱特性により、電子機器などの温度制御を行います。

サーバー,沸騰冷却,熱媒体,温調,Novec,フロリナート,649
  • 電気・電子:5
  • 温度制御:1
  • 信頼性試験:2
  • 排熱回収:1
  • 消火薬剤:2
  • リチウムイオン電池:2
関連製品
特長
  • 優れた電気絶縁性があり、電子機器の信頼性が向上、リーク事故時に影響を与えない。
  • 優れた熱特性と直接浸漬により、コンパクトに温度制御可能。
  • 防錆剤、防腐剤が不要で、pH管理も不要、メンテナンス性を向上。
  • 大型コンピューターでの使用実績。
用途例
  • スーパーコンピューターの直接浸漬冷却
  • サーバー冷却
  • 通信機器の間接冷却 など

使用範囲に即した沸点と優れた熱特性により、コンパクトに温度制御を行います。

サーバー,沸騰冷却,熱媒体,温調
  • 電気・電子:5
  • 重電・エネルギー:1
  • その他工業:2
  • 化学・医薬品:1
  • 温度制御:1
  • 信頼性試験:2
  • 排熱回収:1
  • 消火薬剤:2
  • リチウムイオン電池:2
関連製品
特長
  • 超低温から高温まで幅広い温度範囲に適用可能
  • 各種部材との適合性が良くアルミ部材で使用可能
  • コンパクトに温度制御
用途例
  • ノートパソコンCPU冷却
  • FA制御基板冷却
  • パワー半導体IGBT素子冷却 など

恒温槽

open/close

優れた熱特性と化学的不活性な性状から、禁水物質を扱う電子機器などの温度制御を行います。

サーバー,沸騰冷却,熱媒体,温調
  • 電気・電子:5
  • 重電・エネルギー:1
  • その他工業:2
  • 化学・医薬品:1
  • 温度制御:1
  • 信頼性試験:2
  • 排熱回収:1
  • 消火薬剤:2
  • リチウムイオン電池:2
関連製品
特長
  • 超低温から高温まで幅広い温度範囲に適用可能
  • 均一な温度コントロールが可能
  • 化学的不活性であり、安全性が高い。
  • 光透過性が高く、可視光域の吸収波長を持たないため、光学機器の温調に適している。
用途例
  • MOCVD(有機金属CVD)
  • 医療用分析装置 など

排熱回収

open/close

低沸点の液体を用いて、排熱エネルギー回収用タービンの作動媒体として使用します。

排熱回収,排熱回収,工場廃熱,地熱発電,再生可能エネルギー,熱媒体,低沸点
  • 重電・エネルギー:1
  • 温度制御:1
  • 信頼性試験:2
  • 排熱回収:1
  • 消火薬剤:2
  • リチウムイオン電池:2
関連製品
特長
  • 適度な沸点の製品を選択することにより、設計の自由度が高い。耐圧容器の設計が不要。
  • 蒸発潜熱が低く、凝縮器の表面積を小さくできる
  • 引火点が無いため、防爆仕様および、保安距離が不要。住宅密集地域・国定公園隣接地域にも設置可能
用途例
  • バイナリー発電
  • 低温地熱発電、各種工場排熱回収、車両排熱回収

溶剤・分散媒用途

樹脂、オイルなどの希釈、分散、抽出を行います。特にフッ素系ポリマーの溶解または分散に適しており、フッ素系コーティング剤、潤滑剤やフッ素系オイルの希釈溶媒として使用します。

コーティング,シリコーン
  • 電気・電子:2
  • その他工業:3
  • 化学・医薬品:2
  • 溶剤・分散媒:1
  • コーティング:3
関連製品
特長
  • 各種樹脂やオイルを均一に溶解、または分散させ、安定した溶液をつくる。特にフッ素系ポリマーに適している。
  • 適度な乾燥速度を持ち、プロセスの自由度向上が可能
  • レベリング性(濡れ広がり性)の向上
用途例
  • ハードディスク用潤滑剤の希釈
  • PTFEフッ素樹脂の分散媒
  • エアゾール用溶剤
  • フッ素系コーティング剤、フッ素オイル用溶剤
  • シリコーンオイルコーティングの希釈
  • 反応溶媒
  • 分析用抽出溶媒 など

可燃性溶剤の引火点を調整する効果があります。

不燃
  • 電気・電子:2
  • その他工業:3
  • 化学・医薬品:2
  • 溶剤・分散媒:1
  • コーティング:3
関連製品
特長
  • 引火点を持たず、少量添加で効果を示す。
  • 沸点・蒸気圧の異なる製品ラインの充実により、設計の自由度が高い。
用途例
  • 航空機産業での洗浄剤の引火点調整
  • パラフィン系、シリコーン系溶剤の引火点調整 など

信頼性試験用途

電子部品・電子機器の信頼性試験(気密性試験、熱衝撃試験、耐電圧試験など)の媒体として使用します。

グロスリーク,MIL,米軍規格,サーマルショック
  • 半導体・液晶:3
  • 電気・電子:6
  • 重電・エネルギー:3
  • 信頼性試験:1
  • リチウムイオン電池:4
関連製品
特長

フロリナート™ フッ素系不活性液体

フロリナート™ フッ素系不活性液体は、半導体・IC・LSI・コンデンサ・水晶振動子などの電子部品の気密性のテスト用途に適し、MIL規格(Mil STD 883C/750B/202E)に規定されています。
また不燃で絶縁性に優れるため、電子機器の熱衝撃試験、耐電圧試験にも適しています。

用途例

用途事例

  • 電子部品の気密性確認テスト、半導体・ダイオード・コンデンサ・水晶振動子など
  • 電子部品の熱衝撃試験
  • 耐電圧試験

3M™ Novec™ 高機能性コーティング剤による信頼性の向上

フッ素の持つユニークな特性で、電子機器等の信頼性を向上させます。

保護,基板,電子部品,信頼性
  • 半導体・液晶:4
  • 電気・電子:3
  • その他工業:4
  • リチウムイオン電池:3
  • 信頼性向上:1
  • コーティング:1
  • リチウムイオン電池:3
関連製品
特長
  • 撥水性、撥油性に優れた保護皮膜を作成します。
  • 表面張力が低く、浸透性が高いコーティング液が、微小な隙間にも入り込み、皮膜を形成します。
  • 皮膜の誘電率が低いので、高周波回路に悪影響を与えません。
用途例
  • プリント基板・電子部品等の防湿・防食
  • マイクロベアリング等のオイル拡散防止
  • 磁気ヘッド等の汚れ付着防止
  • 微小隙間への汗・水等の浸入防止

フッ素の持つユニークな特性で、電子機器等の信頼性を向上させます。

スイッチ,電子部品,接触不良,接点
  • 半導体・液晶:4
  • 電気・電子:3
  • その他工業:4
  • リチウムイオン電池:3
  • 信頼性向上:1
  • コーティング:1
  • リチウムイオン電池:3
関連製品
特長
  • 撥水性、撥油性に優れた保護皮膜を作成します。
  • Novec™ 1720の10nm程度の保護膜は、接点の導通を妨げません。
用途例
  • スイッチ接点の汚れ防止
  • リレー接点の汚れ防止

3M™ Novec™ 高機能性コーティング剤による生産性の向上

フッ素の持つユニークな特性で、様々な製品の生産性を向上させます。

ペースト,はんだ,抜け,微少量,印刷
  • 半導体・液晶:5
  • 電気・電子:4
  • その他工業:5
  • 信頼性向上:2
  • 生産性向上:1
  • コーティング:2
関連製品
特長
  • 滑り性、低粘着性に優れた薄膜を形成します。
  • Novec™ 1720の膜厚は、10nm程度と非常に薄いので、マスクの形状に影響を与えません。
用途例
  • はんだペーストの印刷
  • 抵抗体ペーストの印刷
  • その他高粘ちょうペーストの印刷

フッ素の持つユニークな特性で、様々な製品の生産性を向上させます。

チップ部品,這い上がり,生産性,信頼性
  • 半導体・液晶:5
  • 電気・電子:4
  • その他工業:5
  • 信頼性向上:2
  • 生産性向上:1
  • コーティング:2
関連製品
特長
  • 撥水、撥油性に優れた皮膜を形成し、はんだの濡れ広がりを制御します
  • 部品内部へのフラックス等の浸入を防止します
用途例
  • はんだ付けによる部品実装

精密離型

open/close

フッ素の持つユニークな特性で、様々な製品の生産性を向上させます。

精密,離型,生産性,長寿命
  • 半導体・液晶:5
  • 電気・電子:4
  • その他工業:5
  • 信頼性向上:2
  • 生産性向上:1
  • コーティング:2
関連製品
特長
  • 滑り性、低粘着性に優れた薄膜を形成します。
  • 膜厚は、10nm程度と非常に薄いので、金型の形状を正確に転写、成型できます。
用途例
  • ナノインプリント等の精密成型
  • 光学部品の精密成型
  • 高粘着性物質の成型
  • 電子用接合材製品サイトはこちらから
  • 電子用接合材製品サイトはこちらから
  • 電子用接合材製品サイトはこちらから
  • 「その他の3M研磨材製品」研磨材製品事業部のホームページはこちら
  • 「フッ素ゴム、フッ素樹脂、高機能添加剤製品」化学製品事業部のホームページはこちら
  • 「3M™ トライザクト™ 製品の導入ストーリー