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温度制御(温調)用途

半導体製造装置の熱媒体・ブライン

図:半導体製造装置の熱媒体・ブラインイメージ

電気絶縁性に優れ、メンテナンス性を向上します。
超低温から高温まで、幅広い温度に対応します。

特長

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図:半導体製造装置の熱媒体・ブラインイメージ
  • 優れた電気特性(絶縁性、体積抵抗値)により電子機器の信頼性が向上
  • 超低温から高温まで幅広い温度範囲に適用可能
  • 防錆材、防腐剤が不要でpH管理も不要
  • メンテナンス性向上

用途例

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図:各種半導体製造装置の温度制御

各種半導体製造装置の温度制御

露光装置、ドライエッチング装置、スパッタリング装置、CVD装置、イオン注入装置、ICテスター、プローバー、ハンドラー、バーンイン装置 など

化学合成や環境試験室などの低温冷却

マイナス100℃でも流動性に優れた不燃性液体を用いて、超低温領域での精密温度制御を行います。

特長

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  • 液相で使用できる温度範囲が広い。
  • 動粘度が超低温において低く、-100℃の温調にも対応する。
  • 防錆剤、防腐剤が不要でpH管理も不要
  • メンテナンス性向上

用途例

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図:2次冷却のデザイン例
  • 化学工業用冷却装置
  • 医薬品工業用冷却装置
  • 食品工業用冷却装置
  • フリーズドライ
  • 環境試験室 など

製品情報

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絶対粘度

図:絶対粘度

-40℃以下の極低温において、非常に優れた流動性を示します。

ポンプへの負荷比較

図:ポンプへの負荷比較

ポンプをはじめとする循環系への負荷を小さくします。

電子機器の絶縁冷却

優れた電気絶縁性と熱特性により、コンパクトに電子機器などの温度制御を行います。

特長

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絶縁冷却用途におけるフロリナート™ フッ素系不活性液体の特長

  • 優れた電気絶縁性により電子素子同士を電気的に切り離す。
  • 優れた熱特性により、コンパクトに温度制御。
  • 熱的化学的に安定性が高く電食を起こさないため、信頼性が向上。
  • 幅広い温度範囲の冷却に適用可能。

用途例

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直接浸漬型冷却

図:直接浸漬型冷却
  • 車載、地上用整流器の冷却
  • 船舶用通信装置の冷却
  • 大型変圧器、電源の冷却
  • 電子装置の高熱、高電圧部の冷却 など

間接循環冷却

図:間接循環冷却
  • 各種半導体製造装置の温度管理
  • 大型コンピュータの素子冷却
  • 通信機器の冷却 など

製品情報

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電気特性

フロリナート™ フッ素系不活性液体の絶縁耐力は35KV(2.54mmGapあたり)以上であり、整流器や通信装置等の直接浸漬冷却にご使用になれます。

使用温度領域

フロリナート™ フッ素系不活性液体及び3M™ Novec™ 高機能性液体は広い温度範囲をカバーしており、広範な温度領域での使用が可能です。

図:液体範囲

粘度

Novec™ 高機能性液体は-40℃以下の超低温において、優れた流動性を示し、2次冷媒として使用することにより、ポンプをはじめとする循環系への負荷を小さくすることができます。

図:絶対粘度

データーセンター

優れた電気絶縁性と熱特性により、電子機器などの温度制御を行います。

優れた電気絶縁性と熱特性により、電子機器などの温度制御を行います。リーク時も電子機器に影響を与えません。

特長

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  • 優れた電気絶縁性があり、電子機器の信頼性が向上、リーク事故時に影響を与えない。
  • 優れた熱特性と直接浸漬により、コンパクトに温度制御可能。
  • 防錆剤、防腐剤が不要で、pH管理も不要、メンテナンス性を向上。
  • 大型コンピューターでの使用実績。

用途例

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  • スーパーコンピューターの直接浸漬冷却
  • サーバー冷却
  • 通信機器の間接冷却 など

3Mのフッ素系液体が世界最大級の400MWデータセンターに採用されました。
記事紹介 英語(3M社), 2015-10

3Mのフッ素系液体が省エネ性能 世界1位、2位、3位の
日本製スーパーコンピューターの冷却システムに採用されました。
記事紹介 日本語, 2015-7
記事紹介 英語(Businesswire), 2015-7

3Mのフッ素系液体がスーパーコンピュータの冷却システムに採用されました。
記事紹介 日本語, 2014-11
記事紹介 英語(3M社), 2014-11

ヒートパイプ

使用範囲に即した沸点と優れた熱特性により、コンパクトに温度制御を行います。

使用範囲に即した沸点と優れた熱特性により、コンパクトに温度制御を行います。アルミ部材で使用可能です。

特長

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  • 超低温から高温まで幅広い温度範囲に適用可能
  • 各種部材との適合性が良くアルミ部材で使用可能
  • コンパクトに温度制御

用途例

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  • ノートパソコンCPU冷却
  • FA制御基板冷却
  • パワー半導体IGBT素子冷却 など

恒温槽

優れた熱特性と化学的不活性な性状から、禁水物質を扱う電子機器などの温度制御を行います。

優れた電気絶縁性と熱特性により、禁水物質を扱う装置などの温度制御を行います。化学的に不活性であるため有機金属との反応を起こしません。

特長

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  • 超低温から高温まで幅広い温度範囲に適用可能
  • 均一な温度コントロールが可能
  • 化学的不活性であり、安全性が高い。
  • 光透過性が高く、可視光域の吸収波長を持たないため、光学機器の温調に適している。

用途例

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  • MOCVD(有機金属CVD)
  • 医療用分析装置 など

排熱回収

低沸点の液体を用いて、排熱エネルギー回収用タービンの作動媒体として使用します。

特長

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図:排熱回収概念
  • 適度な沸点の製品を選択することにより、設計の自由度が高い。耐圧容器の設計が不要。
  • 蒸発潜熱が低く、凝縮器の表面積を小さくできる
  • 引火点が無いため、防爆仕様および、保安距離が不要。住宅密集地域・国定公園隣接地域にも設置可能

用途例

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  • バイナリー発電、低温地熱発電、各種工場排熱回収、車両排熱回収
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