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温度制御

半導体製造装置の温度制御

特長

電気特性に優れ、メンテナンス性を向上します。
超低温から高温まで、幅広い温度に対応します。 3M™ Novec™ 高機能性液体、フロリナート™ フッ素系不活性液体 半導体製造装置の温度制御(熱媒体・ブライン)用途の詳細ページへ遷移します。 お問い合わせページに遷移します

半導体製造装置の温度制御のイメージ

製品情報

<ノベック>HFE(ハイドロフルオロエーテル)の名称が、3M™ Novec™ 高機能性液体に変わりました!

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イオン液体型帯電防止剤のイメージ
3М™ イオン液体型帯電防止剤 FC-4400
樹脂親和性の高いイオン液体です。
3M™ Novec™ 消火薬剤のイメージ
3M™ Novec™ 消火薬剤
環境特性と安全性に優れた消火薬剤です。
3M™ Novec™ 高機能性液体のイメージ
3M™ Novec™ 高機能性液体
各種法規制に非該当のフロン代替品