グローバルナビゲーションへスキップする メインコンテンツへスキップする

ダイヤモンド固定砥粒 研磨パッド

3M™ トライザクト™ ダイヤモンドタイル

製品写真

ガラス・脆性材料ラップ用研磨ディスク。精密な立体構造の研磨材。欠けや深い傷を起こしにくいのと同時に、高い研磨力によって、ガラス基板等を仕上げます。

トライザクト™ ダイヤモンド タイルはラップ用途に、従来使われていたスラリーやダイヤモンドペレットに代えて使用することが出来る製品として開発されました。優れた仕上がりにより加工変質層を減らすことでポリッシュ工程の時間短縮し、優れた研磨力によりトータルコストの低減を実現します。

特長

  • 3M™ トライザクト™ ダイヤモンドタイルの最大の特長はラップ研磨工程における高い研磨レートにより、スラリーやダイヤモンドペレットによるラップ研磨工程自体の生産性改善に加えて、被研磨物に与える加工ダメージ/加工変質層がスラリーやダイヤモンドペレットに比較して少なく出来ることです。そのことで、次工程の研磨時間を短縮することが可能です。
    纏めると次のような特長が挙げられます。
  • スラリーを使わないラップ工程を実現。
    • スラリーによる工程内及び環境への汚染なし。
    • スラリー廃棄コストを削減。
    • 洗浄コストを削減。
  • 高い研磨レートによりラップ時間を短縮 。
  • 生産性向上によるコスト削減。
  • 表面加工変質層を低減。
  • 次工程のポリッシュ時間を短縮することにより生産性を向上。
  • ラップ盤への装着が簡単。
    • 剥離紙を取るだけでラップ盤に簡単に装着可能。

関連用途

  • 脆性材料
    ガラス基板、石英基板、LT/LN基板、各種セラミック基板、シリコン基板(ベア・再生)
  • 難削材料
    サファイヤ基板、SiC基板、GaN基板

研磨評価データ

  製品グレード DT2M DT4M DT9M
  ダイヤ粒径 2μm相当 4μm相当 9μm相当
合成石英 研磨レート (μm/分) 46 11 20
表面粗さRa (μm) 0.017 0.022 0.051
表面粗さRy (μm) 0.16 0.18 0.45
TEMPAX Float® 研磨レート (μm/分) 36 22 90
表面粗さRa (μm) 0.057 0.079 0.2
表面粗さRy (μm) 0.66 0.93 1.88
青板ガラス 研磨レート (μm/分) N/A 5 48
表面粗さRa (μm) N/A 0.076 0.251
表面粗さRy (μm) N/A 0.83 2.21
白板ガラス 研磨レート (μm/分) 1 6 57
表面粗さRa (μm) 0.065 0.07 0.278
表面粗さRy (μm) 0.62 0.63 2.45

<研磨条件>

研磨装置:9Bサイズ両面研磨装置、荷重:100グラム/ cm2、下定盤回転数:80rpm研削液:当社標準使用品を同一条件にて使用
ワーク: 合成石英 152mm角 5枚、TEMPAX Float® 84mmφ 15枚、白板ガラス 84mmφ 15枚、青板ガラス 84mmφ 15枚

  • ※研磨レートは、1バッチ5分×数バッチでの平均を示しております。また小数点以下を四捨五入しております。
  • ※各種数値は弊社実験に基づく参考値であり保証値ではありません。
  • ※TEMPAX Float®は独SCHOTT社の商標です。
合成石英 TEMPAX Float(R) 青板ガラス 白板ガラス

製品情報

ダイヤモンド粒径 2μm径 3μm径 4μm径 6μm径 9μm径
(#6000相当) (#4000相当) (#3000相当) (#2500相当) (#1200相当)
パッドサイズ 外径60mm~2032mm 潤滑剤用穴開け加工を行います
(60mm未満、2032mm超についても応相談)
写真:タイル表面
  • 電子用接合材製品サイトはこちらから
  • 「その他の3M研磨材製品」研磨材製品事業部のホームページはこちら
  • 「フッ素ゴム、フッ素樹脂、高機能添加剤製品」化学製品事業部のホームページはこちら
  • 「フッ素ゴム、フッ素樹脂、高機能添加剤製品」化学製品事業部のホームページはこちら