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フッ素化学、研磨、接着剤など、3Mのユニークなテクノロジーで、お客様の製造プロセス改善や高性能化を提案いたします。

フッ素系液体

<ノベック>HFE(ハイドロフルオロエーテル)

環境特性と安全性に優れた洗浄・溶媒・熱媒体です。

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<フロリナート>フッ素系不活性液体

電気絶縁性に優れた不活性な熱媒体です。

<フロリナート>フッ素系不活性液体のイメージ <フロリナート>フッ素系不活性液体の詳細ページへ遷移します。

フッ素系コーティング剤

<ノベック>エレクトロニックコーティング剤 EGC-1700

薄膜で撥水・撥油性を付与します。

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<ノベック>フッ素系表面処理剤 EGC-1720

薄膜で離型性・汚れ除去性を付与します。

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精密研磨剤

CMPパッドコンディショナー
ダイヤモンドパッドコンディショナー

安定したコンディショニングを実現します

CMPパッドコンディショナーのイメージ CMPパッドコンディショナーの詳細ページへ遷移します。

CMP用研磨フィルム
<SlurryFree>フィクスド・アブレーシブ

従来方式に比べ安定した平坦特性を実現します。

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プローブカードクリーニングフィルム

クッション効果により効率の良いクリーニングができます。

プローブカードクリーニングフィルムのイメージ  プローブカードクリーニングフィルムの詳細ページへ遷移します。

<インペリアル>ダイヤモンドラッピングフィルム

複合材等にも均一で精密な仕上げを実現します。

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<トライザクト>ダイヤモンドラッピングフィルム

長寿命で、欠けや深い傷を与えずにセラミックスなどを仕上げることができます。

<トライザクト>ダイヤモンドラッピングフィルムのイメージ <トライザクト>ダイヤモンドラッピングフィルムの詳細ページへ遷移します。

<インペリアル>ラッピングフィルム

均一で精密な仕上げを実現します。

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<トライザクト>ダイヤモンドタイルパッド

研磨力が高く、欠けや深い傷を与えずにガラスやセラミックスなどを仕上げることができます。

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ウェーハサポートシステム

WSS(ウェーハサポートシステム)

製造工程でのウェーハ支持性能に優れたシステムです。

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フッ素系消火薬剤

<ノベック>1230 消火薬剤

環境特性と安全性に優れた消火薬剤です。

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リチウム電池電解質

<フロラード>リチウム電解質 HQ-115

リチウムイオン電池の性能を向上する電解質です。

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CVDチャンバークリーニングガス

スペシャリティーガス PFG-3218

プラズマCVDチャンバーのクリーニング効率に優れます。

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<ノベック>1230 消火薬剤のイメージ
<ノベック>1230 消火薬剤
環境特性と安全性に優れた消火薬剤です。
<ノベック>HFEのイメージ
<ノベック>HFE
各種法規制に非該当のフロン代替品