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CMPパッドコンディショナー＜3M＞ダイヤモンドパッドコンディショナー

焼結技術により高いダイヤモンド保持力を備えています。
あらゆるスラリーに対し優れた耐久性を備え、安定したコンディショニングを実現します。

CMPパッドコンディショナー ＜3M＞ダイヤモンドパッドコンディショナーのイメージ

特長

  • 優れたダイヤモンド保持力を有する。
  • 焼結技術と特殊配合金属により酸・アルカリにも強い。
  • 優れたコンディショニング能力を有する。
    • 規則的なダイヤモンドの配列。
    • 高温焼結技術により高いダイヤモンドの突出量。
  • ダイヤモンドを外周部に配置しないデザイン。
  • あらゆるCMPスラリーに対応できる品種。
  • 安定したリムーバルレートを実現。

従来技術（電着）と3M技術との比較

従来技術（電着）と3M技術との比較のイメージ

関連用途

用途例

  • CMPのパッドのコンディショニング
  • 各種ラップ用途のコンディショニング

製品情報

CMPパッドコンディショナー 3Mダイヤモンドパッドコンディショナー
製品 ディスクサイズ 用途
A160 4.25インチ スキャンタイプ
A165 4.25インチ スキャンタイプ
E221 260mm・360mm 大径リングタイプ
E187 260mm・360mm 大径リングタイプ
S122 4インチ スキャンタイプ
S60 4インチ スキャンタイプ
S50 4インチ スキャンタイプ

ダイヤモンド保持力

  • 焼結で固着されたダイヤモンドと、電着でつけたダイヤモンドの保持力を、実際に機械的にダイヤモンドに力をかけて比較したデータです。
  • 明らかに焼結が優れていることが認められました。
ダイヤモンド保持力

ワイブル分布比較（ダイヤモンド保持力）

ダイヤモンド保持力 ワイブル分布比較

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