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半導体検査装置用クリーニング ＜3M＞プローブカードクリーニングフィルム

クッション効果によりプローブへのダメージが少なく、効率の良いクリーニングができます。

半導体検査装置用クリーニング ＜3M＞プローブカードクリーニングフィルムのイメージ

特長

  • 優れたクリーニング能力を有する。
  • クッション層によりプローブのダメージを低減できる。
  • 針先の形状を極力変化させない。
  • 研磨材層の粗さをの違いによる4種類のタイプ。
  • 用途に応じた様々なサイズに対応。
プローブカードクリーニングフィルムの構造

関連用途

用途例

目的

プローブカードはIC・LSIの検査工程に使用される製品でプローバーという検査機に装着して使用します。
プローブの先端がアルミ等の端子に接触するため汚れが付着し、そのために先端のクリーニングが必要となります

プローブピンと、プローブカード　イメージ

プローブカードクリーニングフィルムの目的イメージ

製品情報

プローブカードクリーニングフィルムのタイプ別表示
酸化アルミニウム砥粒の大きさ ウェーハステージ用 クリーニングステージ用
0.5µm タイプA タイプAL
1µm タイプB2 タイプB2L
2µm タイプF タイプFL
3µm タイプC タイプCL
貼りあわせ特性 使用終了まで剥離不可 剥離可能タイプ

一般注意事項

ウェーハステージ用製品タイプA,B,F,Cは90℃以下でご使用ください。
クリーニングステージ用製品タイプAL，BL,FL,CLは室温でご使用ください。

ウェーハステージへの貼りあわせ

製品を貼りあわせるときに気泡等がウェーハとの間に入らないように、ゴムローラーなどで貼りあわせてください。

プローブカードクリーニングフィルムのサイズ別対応表
  サイズ 仕様
ディスク 195mm外径xオリフラ付き ダミーウェーハ用
197mm外径（ノッチ用）
147mm外径xオリフラ付き
50mm外径 クリーニングステージ用
シート 250mmx230mm 自由にカットしてご使用いただけます
105mmx102mm 各種装置のサイズにあわせています
153mmx140mm
228mmx143mm
200mmx100mm
148mmx148mm
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