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住友スリーエム > 製品とサービス > 電子用製品 > CVDチャンバークリーニングガス＜3M＞スペシャリティーガス　PFG-3218

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_{CVDチャンバークリーニングガス}＜3M＞スペシャリティーガス　PFG-3218

クリーニングガス量を42wt%削減
温暖化ガス排出量を68%削減の実績

CVDチャンバークリーニングガス＜3M＞スペシャリティーガス　PFG-3218のイメージ

特長

C₂F₆からのドロップイン置換が可能。
ガスの使用量の削減。
地球温暖化ガス排出量削減。
エッチング効率の改善。
スループット改善。
毒性がない。
引火性がない。

関連用途

半導体市場向け洗浄
- プラズマCVD装置チャンバークリーニング

用途例

CVDチャンバーのクリーニング用ガス
チャンバー内に堆積・付着したパーティクルやデポジット（堆積物質）の除去用

技術情報

FG-3218と他のクリーニングガスの比較

高純度のPFG-3218（オクタフルオロプロパン） C₃F₈
C₂F₆に比べ効率よく除去用のフッ素ラジカルを発生させます

PFG-3218と他のクリーニングガスの比較

PFG-3218は、毒性も低く、引火性も無い極めて安全なガスです。既存のクリーニングガスからは、特に大きな設備変更をすることなく、ドロップインでご使用頂けます。

※GWP　WMO“Scientific Assessment of Ozone Depletion:1998”
※TWA　Time-Weighted Average
※STEL　Short Term Exposure Limit
※TLV　Threshold Limit Values
※ACGIH　American Conference of Governmental Industrial Hygienists,Inc.

採用事例

PFG-3218による温暖化ガス排出削減事例

PFG-3218による温暖化ガス排出削減事例クリーニングガス量　42%削減

PFG-3218による温暖化ガス排出削減データ温暖化ガス　68%削減

クリーニングガス　32%削減温暖化ガス　72%削減

クリーニングガス　84%削減温暖化ガス　86%削減

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高沸点新製品発売開始のイメージ

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＜ノベック＞1230 消火薬剤のイメージ

＜ノベック＞1230 消火薬剤

環境特性と安全性に優れた消火薬剤です。

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