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半導体製造装置の温度制御

電気特性に優れ、メンテナンス性を向上します。
超低温から高温まで、幅広い温度に対応します。

＜ノベック＞HFE（ハイドロフルオロエーテル）

＜フロリナート＞フッ素系不活性液体

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