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３Ｍ™ Novec™ 高機能性液体による精密洗浄除塵洗浄用途

パーティクル（塵埃）の除去性能に優れ、洗浄後に残渣を残すことなく素早く乾燥します。

＜ノベック＞HFE（ハイドロフルオロエーテル）の名称が、３Ｍ™ Novec™ 高機能性液体に変わりました！

３Ｍ™ Novec™ 高機能性液体 除塵洗浄用途のイメージ

特長

  • パーティクルの除去性能に優れる。
  • 優れた浸透性（低表面張力・低粘度）により、微細な間隙の洗浄も可能。
  • 優れた乾燥性により、シミを残すことがほとんど無い。
  • 一液で浸漬洗浄から蒸気洗浄まで対応可能。
  • 低温蒸気乾燥により、被洗浄物への熱的ダメージが少ない（Novec™ 7100　沸点61℃）。
  • 部材との適合性に優れる。
  • 引火点が無い。
  • 実用上無毒。
  • 洗浄装置をコンパクトにでき、省設置スペースが可能。

用途例

電子デバイスの除塵（パーティクル除去）

  • CCD・CMOSセンサー
  • 水晶部品
  • MEMS
  • 半導体ウェーハ
  • センサー部品　他

その他精密部品の除塵（パーティクル除去）

  • 光学部品
  • 半導体ウェーハ用ケース　他

技術情報

洗浄方法

工程概念図

工程概念図のイメージ

物性データ

蒸発潜熱

物性データ 蒸発潜熱のグラフ

低温蒸気乾燥により、熱に弱い洗浄部品に適します。
また、蒸気発生のためのエネルギーセービングが可能です。

表面張力

物性データ 表面張力のグラフ

表面張力が小さいため、浸透力が増し、複雑な部品の狭少部の洗浄を可能にします。

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