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３Ｍ™ Novec™ 高機能性液体、フロリナート™ フッ素系不活性液体半導体製造装置の温度制御（熱媒体・ブライン）用途

電気特性に優れ、メンテナンス性を向上します。超低温から高温まで、幅広い温度に対応します。

３Ｍ™ Novec™ 高機能性液体、フロリナート™ フッ素系不活性液体 半導体製造装置の温度制御（熱媒体・ブライン）用途のイメージ

特長

  • 優れた電気特性（電気特性・体積抵抗値）
  • 超低温から高温まで幅広い温度範囲に適用可能
  • 各種部材との適合性が良い
  • 引火点が無い
  • 実用上無毒
  • オゾン破壊係数ゼロ
  • 低地球温暖化係数（３Ｍ™ Novec™ 高機能性液体)

ドライエッチング装置電極部
温度コントロール用途

ドライエッチング装置電極部温度コントロール用途のイメージ

用途例

各種半導体製造装置の温度制御

露光装置、ドライエッチング装置、スパッタリング装置、CVD装置、イオン注入装置
ICテスター、プローバー、ハンドラー、バーンイン装置　他

技術情報

使用推奨温度域

使用推奨温度域のグラフ

動粘度

動粘度のグラフ

適合性の良い材料（例）

Novec™ 高機能性液体

  • プラスチック
    ポリプロピレン・ポリカーボネート・ポリエステル・エポキシ・PET・ABS・PTFE・アクリル（7100、7200のみ）
  • 金属
    アルミニウム・銅・炭素鋼・ステンレス・真鍮・モリブデン・タンタル・タングステン
  • ゴム
    ブチルゴム・ニトリルゴム・EPDM
  • ※PTFEでは若干の体積膨張を起こします。
  • ※念のため事前に適合性をご確認ください。
  • ※可塑剤の入っていない材料を推奨します。

フロリナート™ フッ素系不活性液体

  • プラスチック
    アクリル・ポリプロピレン・ポリカーボネート・ポリエステル・エポキシ・PET・ABS・PTFE
  • 金属
    アルミニウム・銅・炭素鋼・ステンレス・真鍮・モリブデン・タンタル・タングステン
  • ゴム
    ブチルゴム・ニトリルゴム・EPDM・フッ素ゴム
  • ※念のため事前に適合性をご確認ください。
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