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ウェーハサポートシステム

3M™ ウェーハサポートシステム(WSS)

3次元実装、パワー半導体、MEMS等の極薄裏面研削などの工程で、3M独自の接着・剥離技術によりデバイスウェーハを支持します。

3Mのウェーハサポートシステムは、3Mの接着・剥離技術をベースとした材料と、3M™ ウェーハサポートシステム向けに開発された専用装置を使い、3D TSVプロセス、3Dパッケージング用途向けに最適な薄ウェーハハンドリングソリューションを提供します。

特長

  • UV硬化型液体接着剤を使用してウェーハを支持基板にマウントするため凹凸吸収性に優れ、極薄研削が可能。
  • テープ型接着剤は先ダイシング(DBG: Dicing before Grinding)やチップの配列化プロセスに対応し、穴あき・溝あき基板や幅の大きいサイズのワークの極薄研磨が可能。
  • TTV 5µm以下の高精度のマウントをボイドレスで実現。
  • 高温プロセス(250℃)や、酸、アルカリ等の各種薬液を使用したプロセスにも対応可能。
  • 剥離はレーザートリガーによる完全ドライプロセス。

用途例

フォトリソ、エッチング、成膜、メッキ等の工程でのウェーハ支持。

  • SiP
  • メモリーパッケージ
  • WLCSP
  • バンプ形成後のBG
  • 薄型IGBT
  • MEMS
  • 3D IC
  • FAN-OUT
  • SAWデバイス
  • インターポーザ
  • LED
  • 水晶振動子
  • CMOSイメージセンサ

プロセスフロー (ガラス支持基板+UVキュア/液状型接着剤のケース)
*支持基板はガラス以外でも対応可能。別途ご相談ください。

図:用途例

プロセス詳細(ガラス支持基板+UVキュア/液状型接着剤のケース)

  • 1)Mount

    図:プロセス 1)Mountのイメージ

    ウェーハをUV硬化型液体接着剤で支持ガラスにマウントします。

  • 2)BackGrind

    図:プロセス 2)BackGrindのイメージ

    ウェーハの裏面を研削します。フォトリソ、エッチング、成膜、メッキ等の工程を通すこともできます。

  • 3)Laser irradiation

    図:プロセス 3)Laser irradiationのイメージ

    レーザーを支持ガラス面から照射し、ガラスと接着剤(UVレジン層)が剥れる状態にします。

  • 4)Remove support

    図:プロセス 4)Remove supportのイメージ

    ガラスを接着剤(UVレジン層)から取り除きます。このとき、ガラスは容易に取り除くことができます。

  • 5)Peel off UV resin layer

    図:プロセス 5)Peel off UV resin layerのイメージ

    接着剤(UVレジン層)をウェーハから剥がします。ウェーハ表面に残渣を残しません。

製品情報

仮貼り合せ用接着剤 Temporary Bonding

液状型 liquid type

製品名 主剤 粘度 耐熱性 データシート
3M™ UV-Curable Adhesive LC-3200 アクリル 透明、薄黄 3500cP @25℃ 60分超@150℃、数分@180℃ LC-3200 TDS
3M™ UV-Curable Adhesive LC-5320 開発品 アクリル 乳黄白色 2000cP@25℃ 2時間@200℃、1時間@250℃+リフロー LC-5320 TDS

テープ型 film type

製品名 主剤 耐熱性 推奨用途 データシート
3M™ Temporary Bonding Film ATT-4025 開発品 アクリル系粘着剤 透明 200℃1時間+リフロー ・先ダイシング(DBG)・チップ配列化プロセス
・穴あき・溝あき基板
・400mm~幅の大きいサイズの基板
ATT-4025 TDS
  • ※耐熱性はウェーハ状態により変化します。
剥離層
製品名 組成 特長
3M™ Light-To-Heat-Conversion (LTHC) Release Coating 熱可塑性樹脂 黒(コーティング時は半透明グレー) レーザー照射により、接着剤とガラス界面で剥離する
接着剤除去
製品名 幅、長さ 厚み 対象ウェーハ 特長
WSSピールテープ 110MM X 100M 0.069mm 4インチ用
  • 初期接着力良好
  • 軽い巻き戻し力
  • WSSピールテープHはWSSピールテープより強い接着力を保持
160MM X 100M 6インチ用
210MM X 100M 8インチ用
310MM X 200M 12インチ用
WSSピールテープH
(粘着力強)
110MM X 100M 0.11mm 4インチ用
160MM X 100M 6インチ用
210MM X 100M 8インチ用
310MM X 100M 12インチ用
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