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ピュア＆クリーン。
ダイニオン™ PFAは、テトラフルオロエチレンTFE™
とパーフルオロアルコキシエチレンとの共重合体からなる、完全フッ素化された熱可塑性フッ素樹脂。
耐薬品性にすぐれ、熱可塑性で溶融加工が可能。しかも表面平滑性にすぐれ、不純物の溶出もきわめて低レベルです。クリーンな環境が必須の半導体生産ラインをはじめ、多彩な分野での活用が可能となります。
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-200～260℃の幅広い温度領域で、機械的強度を維持。安定した状態で使用できます。
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直射日光、風雨などによる機能低下や劣化が少なく、長期間の屋外曝露による特性の変化も起こしません。
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誘電率、誘電正接がきわめて低く、信頼性が重視されるエレクトロニクス分野の絶縁材料に適しています。
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成形品の表面平滑性向上により、すぐれた光透過性を発揮します。
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通常雰囲気で引火点がなく、不燃材料としてさまざまな用途への展開が可能です。
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低摩擦性、非粘着性にすぐれ、また成形品の表面平滑性を向上させることで、流動体の抵抗を小さくするなどの効果を発揮します。
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独自の重合プロセスの採用と完全フッ素化により、溶出イオン濃度を低減しました。半導体製造装置、純粋供給装置に使用する高分子材料としては最適。ごくわずかな不純物が、装置自体の腐食や、製品の純度におよぼす影響を抑えます。
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■グレード表
|
|
特性
|
単位
|
評価方法
|
PFA X 6502UHP
|
PFA X 6505UHP
|
PFA X 6515UHP
|
|
形状
|
-
|
-
|
ペレット
|
ペレット
|
ペレット
|
|
融点
|
℃
|
ASTM D4591
|
310
|
310
|
310
|
|
メルトフローインデックスMFI（372℃/5kg）
|
g/10min
|
ASTM D1238
|
2
|
5
|
15
|
|
比重
|
g/cm3
|
ASTM D4591
|
2.15
|
2.15
|
2.15
|
|
かさ密度
|
g/l
|
ASTM D1895
|
1,250
|
1,250
|
1,250
|
|
引張強度（23℃）
|
MPa
|
ASTM D638
|
30
|
30
|
26
|
|
伸び（23℃）
|
%
|
ASTM D638
|
380
|
410
|
450
|
|
限界酸素指数
|
% O2
|
ASTM D2863
|
>95
|
>95
|
>95
|
|
誘電率1MHz
|
-
|
ASTM D150
|
2.1
|
2.1
|
2.1
|
|
誘電正接1MHz
|
-
|
ASTM D150
|
<0.001
|
<0.001
|
<0.001
|
|
特性
|
単位
|
評価方法
|
PFA
6502N
|
PFA
6515N
|
PFA
6525N |
|
形状
|
-
|
-
|
ペレット
|
ペレット
|
ペレット
|
|
融点
|
℃
|
ASTM D4591
|
310
|
310
|
310
|
|
メルトフローインデックスMFI（372℃/5kg）
|
g/10min
|
ASTM D1238
|
2
|
15
|
25 |
|
比重
|
g/cm3
|
ASTM D4591
|
2.15
|
2.15
|
2.15
|
|
かさ密度
|
g/l
|
ASTM D1895
|
1,250
|
1,250
|
1,250
|
|
引張強度（23℃）
|
MPa
|
ASTM D638
|
30
|
26
|
20 |
|
伸び（23℃）
|
%
|
ASTM D638
|
380
|
450
|
350 |
|
限界酸素指数
|
% O2
|
ASTM D2863
|
>95
|
>95
|
-
|
|
誘電率1MHz
|
-
|
ASTM D150
|
2.1
|
2.1
|
-
|
|
誘電正接1MHz
|
-
|
ASTM 150
|
<0.001
|
<0.001
|
-
|
|
|
温度（℃）
|
重量変化率（％）
|
引張り強度（MPa）
|
伸び（％）
|
降伏点（MPa）
|
引張り強度変化率（％）
|
伸び変化率（％）
|
降伏点変化率（％）
|
|
初期物性
|
23
|
23
|
|
|
32.5
|
22.2
|
345
|
362
|
13.7
|
15.8
|
|
|
|
|
|
|
|
空気
|
165
|
165
|
|
|
33.8
|
21.1
|
400
|
327
|
13.7
|
16.3
|
4
|
-5
|
16
|
-10
|
0
|
3
|
|
36％塩酸
|
155
|
155
|
-0.2
|
-0.2
|
32.3
|
31.5
|
347
|
360
|
13.0
|
15.1
|
-1
|
42
|
1
|
-1
|
-5
|
-4
|
|
96％塩酸
|
155
|
165
|
<0.1
|
<0.01
|
30.7
|
20.5
|
310
|
310
|
13.1
|
17.4
|
-6
|
-8
|
-10
|
-14
|
-4
|
10
|
|
濃リン酸
|
165
|
100
|
<0.1
|
<0.1
|
33.5
|
21.0
|
318
|
376
|
14.3
|
17.2
|
3
|
-5
|
-8
|
4
|
4
|
9
|
|
フッ化水素40％
|
100
|
35
|
<0.1
|
0.0
|
30.6
|
21.3
|
343
|
352
|
13.4
|
16.2
|
-6
|
-4
|
-1
|
-3
|
-2
|
3
|
|
フッ化水素49％
|
35
|
155
|
<0.1
|
0.0
|
32.8
|
25.6
|
307
|
433
|
12.6
|
16.4
|
1
|
15
|
-11
|
20
|
-8
|
4
|
|
濃硝酸
|
155
|
23
|
0.3
|
0.4
|
31.9
|
21.5
|
337
|
370
|
10.7
|
16.3
|
-2
|
-3
|
-2
|
2
|
-22
|
3
|
|
36％塩酸+30％過酸化水素+超純水1：1：1
|
23
|
23
|
0.0
|
<0.1
|
31.5
|
21.9
|
347
|
358
|
11.5
|
15.2
|
-3
|
-1
|
1
|
-1
|
-16
|
-4
|
|
水酸化ナトリウム50％
|
23
|
23
|
0.0
|
0.0
|
30.0
|
24.5
|
350
|
417
|
14.1
|
16.1
|
-8
|
10
|
1
|
15
|
3
|
2
|
|
水酸化カリウム50％
|
23
|
23
|
0.0
|
0.0
|
33.4
|
25.3
|
390
|
415
|
13.1
|
16.2
|
3
|
14
|
13
|
15
|
-4
|
3
|
|
n-メチルピロリドン
|
100
|
100
|
<0.1
|
<0.1
|
28.8
|
22.3
|
320
|
360
|
13.2
|
17.0
|
-11
|
0
|
-7
|
-1
|
-4
|
8
|
|
テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド
|
100
|
100
|
<0.1
|
<0.1
|
33.4
|
22.1
|
307
|
330
|
12.6
|
17.0
|
3
|
0
|
-11
|
-9
|
-8
|
8
|
|
飽和オゾン水
|
80
|
80
|
0.0
|
0.0
|
33.6
|
21.3
|
340
|
337
|
14.3
|
16.4
|
3
|
-4
|
-1
|
-7
|
4
|
4
|
|
96％硫酸+30％過酸化水素3：1
|
23
|
23
|
<0.1
|
<0.1
|
27.4
|
21.9
|
387
|
387
|
11.6
|
15.9
|
-16
|
-1
|
12
|
7
|
-15
|
1
|
|
各液体とも180日浸せき後のデータ ※試験期間30日、空気中は７日
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